Alternative title | Silicon Carbide as Base Material for MEMS Sensors of Aerospace Use: An Overview |
Author |
Fraga, M.a.
![]() Pessoa, R. S. ![]() Massi, Marcos ![]() ![]() Maciel, H. S. ![]() |
Institution | FATEC CEETEPS Departamento de Ensino Geral UNIVAP Instituto de Pesquisa e Desenvolvimento Universidade Federal de São Paulo (UNIFESP) |
Abstract | This paper discusses the use of silicon carbide (SiC), in bulk and thin-film form, in MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems) sensors for extreme environment applications, especially in aerospace. The physical and chemical properties of SiC that make it a suitable material for electronic devices and sensors are described. Concepts, developments and applications of MEMS technology are presented. An overview of the current stage of development of SiC-based MEMS sensors and an analysis of research conducted in this area in Brazil and abroad, both in universities and industries are also presented. The recent progress made, difficulties encountered and the impact of these investigations are discussed as well as the outlook for the near future. Este artigo discute o emprego do carbeto de silício (SiC), na forma de substrato e filme fino, em sensores MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems) para aplicações em ambientes sujeitos a condições extremas, especialmente no setor aeroespacial. As propriedades físicas e químicas do SiC que o tornam um material adequado para dispositivos eletrônicos e sensores são descritas. Os conceitos, evolução e aplicações da tecnologia MEMS são apresentados. Uma visão geral sobre o estágio atual de desenvolvimento de sensores MEMS baseados em SiC e uma análise das pesquisas realizadas nesta área no exterior e no Brasil, tanto nas universidades quanto nas indústrias, são também apresentadas. Os recentes avanços alcançados, as dificuldades encontradas e o impacto dessas pesquisas são discutidos, bem como as perspectivas para um futuro próximo. |
Keywords |
silicon carbide
semiconductor materials microsensors aerospace applications carbeto de silício materiais semicondutores micro-sensores aplicações aeroespaciais |
Language | Portuguese |
Date | 2014-09-01 |
Published in | Matéria (Rio de Janeiro). Rede Latino-Americana de Materiais, v. 19, n. 3, p. 274-290, 2014. |
ISSN | 1517-7076 (Sherpa/Romeo, impact factor) |
Publisher | Rede Latino-Americana de Materiais |
Extent | 274-290 |
Origin |
|
Access rights | Open access ![]() |
Type | Article |
Web of Science ID | WOS:000343993800007 |
SciELO ID | S1517-70762014000300274 (statistics in SciELO) |
URI | http://repositorio.unifesp.br/handle/11600/8561 |
Name:
S1517-70762014000300274.pdf
Size: 1.045Mb Format: PDF Description: |
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