Carbeto de Silício como Material Base para Sensores MEMS de Uso Aeroespacial: Uma Visão Geral

Carbeto de Silício como Material Base para Sensores MEMS de Uso Aeroespacial: Uma Visão Geral

Alternative title Silicon Carbide as Base Material for MEMS Sensors of Aerospace Use: An Overview
Author Fraga, M.a. Google Scholar
Pessoa, R. S. Google Scholar
Massi, Marcos Autor UNIFESP Google Scholar
Maciel, H. S. Google Scholar
Institution FATEC CEETEPS Departamento de Ensino Geral
UNIVAP Instituto de Pesquisa e Desenvolvimento
Universidade Federal de São Paulo (UNIFESP)
Abstract This paper discusses the use of silicon carbide (SiC), in bulk and thin-film form, in MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems) sensors for extreme environment applications, especially in aerospace. The physical and chemical properties of SiC that make it a suitable material for electronic devices and sensors are described. Concepts, developments and applications of MEMS technology are presented. An overview of the current stage of development of SiC-based MEMS sensors and an analysis of research conducted in this area in Brazil and abroad, both in universities and industries are also presented. The recent progress made, difficulties encountered and the impact of these investigations are discussed as well as the outlook for the near future.

Este artigo discute o emprego do carbeto de silício (SiC), na forma de substrato e filme fino, em sensores MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems) para aplicações em ambientes sujeitos a condições extremas, especialmente no setor aeroespacial. As propriedades físicas e químicas do SiC que o tornam um material adequado para dispositivos eletrônicos e sensores são descritas. Os conceitos, evolução e aplicações da tecnologia MEMS são apresentados. Uma visão geral sobre o estágio atual de desenvolvimento de sensores MEMS baseados em SiC e uma análise das pesquisas realizadas nesta área no exterior e no Brasil, tanto nas universidades quanto nas indústrias, são também apresentadas. Os recentes avanços alcançados, as dificuldades encontradas e o impacto dessas pesquisas são discutidos, bem como as perspectivas para um futuro próximo.
Keywords silicon carbide
semiconductor materials
microsensors
aerospace applications
carbeto de silício
materiais semicondutores
micro-sensores
aplicações aeroespaciais
Language Portuguese
Date 2014-09-01
Published in Matéria (Rio de Janeiro). Rede Latino-Americana de Materiais, v. 19, n. 3, p. 274-290, 2014.
ISSN 1517-7076 (Sherpa/Romeo, impact factor)
Publisher Rede Latino-Americana de Materiais
Extent 274-290
Origin http://dx.doi.org/10.1590/S1517-70762014000300011
Access rights Open access Open Access
Type Article
Web of Science ID WOS:000343993800007
SciELO ID S1517-70762014000300274 (statistics in SciELO)
URI http://repositorio.unifesp.br/handle/11600/8561

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