Deposição De Filmes Finos De Carbeto De Silicío Sobre A Liga Ti-6al-4v Por Meio Da Técnica Hipims
Data
2018-10-19
Autores
Merij, Abrao Chiaranda 
Orientadores
Massi, Marcos
Tipo
Tese de doutorado
Título da Revista
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Resumo
The Ti-6al-4v Alloy Has Important Properties For Industry, Such As Good Mechanical Strength/Weight Ratio, Corrosion Resistance, And Mechanical Stability, But In Some Cases Its Use Is Unfeasible, Especially For Applications With High Temperatures In Oxygen-Rich Environments. In Such Cases, Defects, Such As Pores, Cracks, And Inclusions, Decrease The Useful Life Of The Material In Operation, Requiring Repair Or Even Component Replacement. Ceramic Protective Coatings Are A Viable Alternative To Solve Such Problems. The Objective Of This Study Was To Deposit Thin Silicon Carbide Films On Substrates Of Titanium Alloy Ti-6al-4v, With The Magnetron Sputtering Technique. The High Power Pulse Source Called Hipims (High-Power Impulse Magnetron Sputtering), Allows For Highly Dense Films. Silicon Carbide Films Were Deposited For 120 Minutes At The Following Magnitudes: Frequency (500 And 1000 Hz), Pulse Width (10, 50, 100, 200, And 300 "S), Mean Power (100 And 400 W), And Distances Between Target And Substrate (90, 130,
A Liga Ti-6al-4v Apresenta Importantes Propriedades Para A Indústria, Tais Como Boa Relação Resistência Mecânica/Peso, Resistência À Corrosão E Estabilidade Mecânica, Porém Em Alguns Casos Seu Uso Se Torna Inviável Principalmente Para Aplicações Em Ambientes Com Temperaturas Elevadas Ricos Em Oxigênio. Nesses Casos Defeitos Como Formações De Poros, Trincas E Inclusões Diminuem A Vida Útil Do Material Em Operação, Sendo Necessário Seu Reparo Ou Até Mesmo A Troca Do Componente. Revestimentos Cerâmicos De Proteção São Uma Alternativa Viável Para Resolver Tais Problemas. O Presente Trabalho Tem Como Objetivo A Deposição De Filmes Finos De Carbeto De Silício Em Substratos Da Liga De Titânio Ti-6al-4v, Por Meio Da Técnica Magnetron Sputtering Fazendo Uso De Uma Fonte De Pulsos De Alta Potência Denominada Hipims (High-Power Impulse Magnetron Sputtering), Que Permite Obter Filmes Altamente Densos. Foram Estudados Filmes De Carbeto De Silício Depositados Por 120 Minutos Variando"Se As Seguintes Grandezas: Frequência (
A Liga Ti-6al-4v Apresenta Importantes Propriedades Para A Indústria, Tais Como Boa Relação Resistência Mecânica/Peso, Resistência À Corrosão E Estabilidade Mecânica, Porém Em Alguns Casos Seu Uso Se Torna Inviável Principalmente Para Aplicações Em Ambientes Com Temperaturas Elevadas Ricos Em Oxigênio. Nesses Casos Defeitos Como Formações De Poros, Trincas E Inclusões Diminuem A Vida Útil Do Material Em Operação, Sendo Necessário Seu Reparo Ou Até Mesmo A Troca Do Componente. Revestimentos Cerâmicos De Proteção São Uma Alternativa Viável Para Resolver Tais Problemas. O Presente Trabalho Tem Como Objetivo A Deposição De Filmes Finos De Carbeto De Silício Em Substratos Da Liga De Titânio Ti-6al-4v, Por Meio Da Técnica Magnetron Sputtering Fazendo Uso De Uma Fonte De Pulsos De Alta Potência Denominada Hipims (High-Power Impulse Magnetron Sputtering), Que Permite Obter Filmes Altamente Densos. Foram Estudados Filmes De Carbeto De Silício Depositados Por 120 Minutos Variando"Se As Seguintes Grandezas: Frequência (