Carbeto de Silício como Material Base para Sensores MEMS de Uso Aeroespacial: Uma Visão Geral

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dc.contributor.author Fraga, M.a.
dc.contributor.author Pessoa, R. S.
dc.contributor.author Massi, Marcos [UNIFESP]
dc.contributor.author Maciel, H. S.
dc.date.accessioned 2015-06-14T13:47:16Z
dc.date.available 2015-06-14T13:47:16Z
dc.date.issued 2014-09-01
dc.identifier http://dx.doi.org/10.1590/S1517-70762014000300011
dc.identifier.citation Matéria (Rio de Janeiro). Rede Latino-Americana de Materiais, v. 19, n. 3, p. 274-290, 2014.
dc.identifier.issn 1517-7076
dc.identifier.uri http://repositorio.unifesp.br/handle/11600/8561
dc.description.abstract This paper discusses the use of silicon carbide (SiC), in bulk and thin-film form, in MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems) sensors for extreme environment applications, especially in aerospace. The physical and chemical properties of SiC that make it a suitable material for electronic devices and sensors are described. Concepts, developments and applications of MEMS technology are presented. An overview of the current stage of development of SiC-based MEMS sensors and an analysis of research conducted in this area in Brazil and abroad, both in universities and industries are also presented. The recent progress made, difficulties encountered and the impact of these investigations are discussed as well as the outlook for the near future. en
dc.description.abstract Este artigo discute o emprego do carbeto de silício (SiC), na forma de substrato e filme fino, em sensores MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems) para aplicações em ambientes sujeitos a condições extremas, especialmente no setor aeroespacial. As propriedades físicas e químicas do SiC que o tornam um material adequado para dispositivos eletrônicos e sensores são descritas. Os conceitos, evolução e aplicações da tecnologia MEMS são apresentados. Uma visão geral sobre o estágio atual de desenvolvimento de sensores MEMS baseados em SiC e uma análise das pesquisas realizadas nesta área no exterior e no Brasil, tanto nas universidades quanto nas indústrias, são também apresentadas. Os recentes avanços alcançados, as dificuldades encontradas e o impacto dessas pesquisas são discutidos, bem como as perspectivas para um futuro próximo. pt
dc.format.extent 274-290
dc.language.iso por
dc.publisher Rede Latino-Americana de Materiais
dc.relation.ispartof Matéria (Rio de Janeiro)
dc.rights Acesso aberto
dc.subject silicon carbide en
dc.subject semiconductor materials en
dc.subject microsensors en
dc.subject aerospace applications en
dc.subject carbeto de silício pt
dc.subject materiais semicondutores pt
dc.subject micro-sensores pt
dc.subject aplicações aeroespaciais pt
dc.title Carbeto de Silício como Material Base para Sensores MEMS de Uso Aeroespacial: Uma Visão Geral pt
dc.title.alternative Silicon Carbide as Base Material for MEMS Sensors of Aerospace Use: An Overview en
dc.type Artigo
dc.contributor.institution FATEC CEETEPS Departamento de Ensino Geral
dc.contributor.institution UNIVAP Instituto de Pesquisa e Desenvolvimento
dc.contributor.institution Universidade Federal de São Paulo (UNIFESP)
dc.description.affiliation FATEC CEETEPS Departamento de Ensino Geral
dc.description.affiliation UNIVAP Instituto de Pesquisa e Desenvolvimento
dc.description.affiliation UNIFESP Instituto de Ciência e Tecnologia
dc.description.affiliationUnifesp UNIFESP, Instituto de Ciência e Tecnologia
dc.identifier.file S1517-70762014000300274.pdf
dc.identifier.scielo S1517-70762014000300274
dc.identifier.doi 10.1590/S1517-70762014000300011
dc.description.source SciELO
dc.identifier.wos WOS:000343993800007



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Nome: S1517-70762014000300274.pdf
Tamanho: 1.045MB
Formato: PDF
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